電子工業(yè)中，高純氦氣的最大應(yīng)用是半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)。起始材料,超純半導(dǎo)體的單晶體，如硅和鍺共熔體生長(zhǎng)的過(guò)程利用氦既用為保護(hù)氣又作為傳熱介質(zhì)。只有非常純的惰性氣體高純氦氣(- 般要求純度為99.999%~99.99999%)才可以保證極高的晶體純度。惰性氣體高純氦氣還用做摻雜氣(如砷化氫和磷化氫)的稀釋氣和載氣，摻雜氣在半導(dǎo)體器中用來(lái)生成N結(jié)和P結(jié)。

       在某些高壓電子管轉(zhuǎn)換開關(guān)和調(diào)整管中也要用到氦。氦- 氬混合氣在電子元件封裝等I藝過(guò)程所需的微件焊接中用做保護(hù)氣。用氦氣作半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程的運(yùn)載氣體,可以安全地將揮發(fā)性物質(zhì)或氣體混合物從發(fā)生源輸送到擴(kuò)散爐管或反應(yīng)器的工作室。文章來(lái)源高純氦氣http://architecture-studio.cn/。